電子特氣純度提升的影響因素較多，難度較大。電子特氣純度提升的影響因素較多，主要包括三個(gè)方面：
 

　　1)氣體的分離和提純。
 

　　電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類，在實(shí)際提純分離過(guò)程中，為了達(dá)到更好的分離效率，往往會(huì)利用多種分離方法進(jìn)行組合，工藝更為復(fù)雜。
 

　　2)氣體雜質(zhì)檢測(cè)和監(jiān)控。
 

　　隨著電子特氣的純度越來(lái)越高，對(duì)分析檢測(cè)方法和儀器提出了更高的要求，檢測(cè)限從最早的ppm級(jí)已經(jīng)發(fā)展到ppt級(jí)。目前國(guó)外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個(gè)階段。對(duì)于高純度電子氣體的分析，國(guó)外已開(kāi)發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測(cè)試方法和現(xiàn)場(chǎng)分析儀器。而由于我國(guó)電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測(cè)，因此分析方法和分析儀器同國(guó)外廠商相比都比較落后。
 

　　3)氣體的運(yùn)輸和儲(chǔ)存。
 

　　高純電子特氣得來(lái)不易，在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口，確保避免二次污染。而我國(guó)加工工藝整體落后以及不符合國(guó)際規(guī)范，市場(chǎng)主要被國(guó)外公司占據(jù)。國(guó)內(nèi)電子特氣純度仍有待提升。目前國(guó)外電子特氣的純度一般在6個(gè)“9”(即99.9999%)，而國(guó)內(nèi)多在4—5個(gè)“9”之間，少數(shù)能達(dá)到6個(gè)“9”。