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詳細(xì)盤點(diǎn)氣體工業(yè)中的高純氣體常見類別,快來(lái)看看你知道幾個(gè)

更新時(shí)間:2021-05-19      點(diǎn)擊次數(shù):5435

    高純氣體(HighPurityGases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對(duì)于氫,氮,氦,氬而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對(duì)于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對(duì)于碳?xì)浠衔?,純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮,氫,氬,氦可作為運(yùn)載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。

    高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無(wú)機(jī)高純氣體,

    有機(jī)高純氣體。

    1、烷烴類:

    甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、環(huán)丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、環(huán)氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、(B2H6)、硅烷(SiH4)等;

    2、烯烴類:

    乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、氯乙烯(C2H3Cl)等;

    3、炔烴類:

    乙炔(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、甲基乙炔(C3H4)、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等;

    4、其他:

    二甲醚(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等

    無(wú)機(jī)高純氣體

    1、空氣(Air)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氮?dú)猓∟2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)、氖氣(Ne)、氪氣(Kr)、氙氣(Xe)等;  2、氨氣(NH3)、氯氣(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亞氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl)、溴化氫(HBr)、硫化氫(H2S)等;  3、(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、 四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等
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